光子学合作:VTT认为Okmetic的E-SOI®硅片是光子学技术的绝佳平台

图片由VTT提供:VTT的光子学技术盒厚为 3μm,背靠Ge层和PD结构的光通信技术

VTT是集研究、开发和创新为一体的合作伙伴,其运营极具前瞻性,同时也是欧洲首屈一指的研究机构之一。该机构开发光子集成电路(PIC)和芯片,为电信、医疗保健、自动驾驶汽车和空间应用提供新的组件和系统。基于专利设计,VTT的PIC能够实现最高的集成密度。自2010年初以来,Okmetic一直保持与VTT的合作,为他们的光子技术开发并优化硅基衬底。

E-SOI®硅片为硅光技术提供出色的波导

因其厚且高度均匀的器件/波导层,VTT选择使用Okmetic的E-SOI®硅片作为其光子技术的衬底,而非具有亚微米器件层的 SOI 硅片。

VTT提供图片:SOI工艺评估

这主要是因为E-SOI®硅片具有厚且高度均匀的器件层特性,为硅光技术提供了出色的波导。E-SOI®硅片衬底可实现全方位的高性能光学解决方案,具有最低或无偏振灵敏度、出色的波长范围和最高的光功率容差。VTT的PIC使用3μm的器件/波导层厚度,这在光子器件中较普遍。

使用 E-SOI®硅片作为VTT 3微米PIC的衬底的主要优势:

  • 单模式操作,波长超过1.2 – 6微米
  • 高集成度
  • 光损耗极低,低于0.04dB/cm(通过整个 PIC 测量)
  • 极化依赖性小或为零
  • 耐受高光功率

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