马来西亚SilTerra的MEMS和光子器件新制造技术使用C-SOI®硅片作为平台

Okmetic非常自豪我们的埋层腔体型绝缘体上硅片（C-SOI^®）能够支持马来西亚SilTerra的微机电系统（MEMS）和光子器件的新制造技术。C-SOI®硅片是根据SilTerra的需求定制的，适用于频率为500kHz或以下范围的消费、医疗、工业和汽车等垂直市场的压电传感器、微镜、加速度计、麦克风、惯性MEMS、谐振器和微流体设备中的应用。该技术还可用于构建使用基于MEMS的驱动和基于光子的传感器。

C-SOI®硅片嵌入了大腔尺寸，改善了可重复的良率，SilTerra已经成功地在C-SOI®衬底上集成并鉴定了MEMS和光子学工艺模块。从本质上讲，SilTerra的技术可以为客户提供精确、高产量和更快的上市时间，有利于客户更快地进行MEMS和光子器件的制造。阅读SilTerra新闻稿了解详情（外链）。