Okmetic推出无台阶型SOI硅片

2023年3月22日 – 芬兰万塔市 – Okmetic是先进硅片的领先供应商，公司产品用于制造MEMS、传感器、射频滤波器和功率器件等。今天，Okmetic宣布发布200毫米无台阶型BSOI硅片和E-SOI®硅片。

无台阶型SOI硅片为设备生产商提供最大化的可用面积，最大效率地应用硅片以生产更多的芯片。标准的SOI台阶（非SOI区）小于2毫米，因此无台阶型SOI硅片大致可以增加4%的可操作区。此外，由于边缘排除区域从4.5毫米减少到3.0毫米，直接导致质量保证区（FQA）大致增加了3%。  

无台阶型SOI硅片边缘被倒角成最佳状态，以增加与后续设备加工的兼容性。譬如无台阶型SOI硅片更便于夹持和处理硅片，同时也有利于外延生长和光刻工艺，包括抗蚀剂涂层。

“Okmetic开发无台阶型SOI硅片的主要目的是为了满足客户和行业发展的需求。为了能够制造出完全无台阶型的SOI硅片，Okmetic需要在现有的SOI工艺基础上进行优化和再开发。Okmetic很高兴能够在开发阶段与多个试点客户进行合作。这些客户对于无台阶型SOI硅片的原型提供了宝贵的反馈意见，这使得整个开发阶段更快捷，并成功提速了后续的生产。”Okmetic 的首席技术官Atte Haapalinna说道，“在推出无台阶型SOI硅片后，Okmetic已经准备好为更多客户提供样品且能够批量交付产品”。

可用性

无台阶型SOI适用于200毫米BSOI硅片和E-SOI®硅片，它们是生产MEMS、射频滤波器和功率器件的最佳理想衬底。请联系您的区域销售代表，了解更多关于销售、样品发货和定制报价的相关信息。

关于Okmetic

Okmetic成立于1985年，是领先的先进、高附加值硅片供应商，我们的产品用于制造MEMS、传感器、射频滤波器和功率器件等。Okmetic拥有市场上最全的150至200毫米硅片产品系列，包括SOI硅片和高阻RFSi®硅片以及图案化硅片、单抛片和双抛片、TSV硅片、用于功率器件以及硅上氮化镓应用的硅片等。

Okmetic总部位于芬兰，大部分硅片产品都是在总部生产制造的。我们的全球销售和技术支持网络确保及时的在地服务、快速的原型制作和高度优化的硅片解决方案。Okmetic的运营符合ISO 9001:2015、ISO 14001:2015和IATF 16949:2016等质量和环境标准。2021年，Okmetic的净销售额为1.28亿欧元。2022年5月公司宣布了4亿欧元投资的厂房扩建项目，这意味着届时公司的产能和业务将实现翻翻。欢迎访问公司官网，了解更多信息。

媒体联络

Okmetic首席技术官Atte Haapalinna
电话 +358 9 502 80 474, atte.haapalinna@okmetic.com

Okmetic市场部经理Marika Mäntymaa
电话 +358 40 069 7882, marika.mantymaa@okmetic.com