全新的MEMS硅基衬底标准有利于行业发展，Okmetic积极参与国际半导体产业协会的标准化和指导工作

2019年底，国际半导体产业协会推出了全新的MEMS硅基衬底标准化文件，以帮助企业订购新MEMS产品的衬底材料，并通过消除电子价值链开始时已经存在的单晶圆工艺思维定式来减少规格差异 。Okmetic在MEMS制造和绝缘体上硅专业知识方面是行业领先的供应商，在MEMS硅基衬底标准化过程中发挥了主导作用。

因为各种MEMS器件的机械特性需要特定的衬底配置，而这与传统半导体器件生产中使用的衬底有很大不同。因此，国际半导体产业协会确定了行业对于MEMS硅基衬底标准的需求，标准化程序开始于2018年初。该标准对于领域内新的参与者特别有用，因为它提供了订购和指定硅基衬底的所有必要信息。该标准还使硅供应商能够储存标准材料，从而缩短了采购时间、上市时间和总体成本，整个价值链的参与者都能够从中受益。

SEMI的多样化工作

“国际半导体产业协会的目标不仅是引入新的标准，更重要的是改善MEMS和传感器的整体制造环境”，Okmetic的北美客户支持经理Petri Santala说道，他自2018年以来一直积极参与标准化相关工作。“目前我们身边有很多有趣的事情正在发生——我们正在最终确定表征深度反应离子蚀刻的测试模式指南、研究可靠性标准的不同方法，同时时刻关注着MEMS中封装和集成方面的挑战。我们也在思考新的方法来提高团队的意识/活动，希望通过吸引不同背景、充满活力的新成员来加强这个相对较小的团队的能力，” Santala总结道。