SSP-kiekot – Single Side Polished

Kiteenkasvatus on yksi Okmeticin ydinkyvykkyyksistä, ja se luo perustan räätälöityjen SSP-kiekkoratkaisujen valmistamiselle omassa tuotannossa sekä alihankinnassa. Keskitymme tarjoamaan asiakkaillemme laajan valikoiman kidemateriaaleja ja kiekkoja erilaisiin tarpeisiin.

Korkearesistiivinen RFSi® -kiekkoperheemme sisältää RF-radiotaajuussuotimien ja –sovellusten tarpeisiin kehitettyjä SSP-kiekkoja. Tehopuolijohteita varten räätälöidyt kiekkomme koostuvat matala- ja mediumresistiivisistä SSP-kiekoista. Tällä sivulla keskitymme pinta-MEMSin ja CAP-suojaukseen käytettäviin normaalin resistiivisyyden omaaviin kiekkoihin. Monet MEMS-sovellukset kuten paineanturit, kiihtyvyysanturit ja gyroskoopit hyöydyntävät tyypillisesti SSP-kiekkoja alustanaan, mutta SOI-kiekkojen suosio on jo pitkään kasvanut niiden kustannustehokkuuden vuoksi.

SSP-kiekoilla erinomaiset kyvykkyydet

Okmeticin oma kiteenkasvatus luo lyömättömät kyvykkyydet SSP-kiekoille ja täten asiakkaiden prosesseille. Halkaisijaltaan 150-200mm yksipuolisesti kiillotetut SSP-kiekot soveltuvat kaikista vaativimmillekin prosessilinjoille niiden korkeiden puhtaus- ja laatuominaisuuksiensa vuoksi. Lisäksi SSP-kiekoillamme on erinomaiset kyvykkyydet paksuuden ja tasaisuuden osalta. Okmetic toimittaa myös SSP-kiekkoja epätavallisilla paksuuksilla, sillä jotkin erityisovellukset tarvitsevat erittäin ohuita tai paksuja SSP-kiekkoja alustakseen. Paksut kiekot soveltuvat esimerkiksi galliumnitridikerroksen (GaN) kasvattamiseen.

Okmeticilla on laaja valmikoima halkaisijaltaan 150-200 mm SSP-piikiekkoja: Kiekkojen seosaineita ovat antimoni, arseeni, fosfori ja boori. Kideorientaatiot ovat <100>, <110>, <111> tai kallistettu orientaatio. Paksuudet vaihtelevat 400 ja 1150 µm välillä ja resistiivisyydet <0,001 ja >7000 Ohm-cm välillä. Taustapuolen käsittely voi olla syövytetty, polyback tai LTO.  

SSP-kiekkojen spesifikaatiot