Engineered Ultra High Resistivity -kiekot
Okmeticin Engineered Ultra High Resistivity SSP- ja DSP –kiekoissa yli 10 000 Ohm-cm resistiivisyys yhdistyy erittäin tehokkaaseen parasiittista pintajohtavuutta vaimentavaan kerrokseen. Tämä mahdollistaa RF-sovelluksille lähes olemattomat kiekosta johtuvat häviöt ja epälineaarisuudet. Nämä premium-kiekot on optimoitu RF-suotimien kaikista vaativimpiin tarpeisiin.
Okmeticin Engineered Ultra High Resistivity –kiekot ovat premium-piikiekkoja, jotka on optimoitu vaativien radiotaajuussuotimien ja –sovellusten tarpeisiin ja jotka tarjoavat maksimaalista suorituskykyä. Engineered Ultra High Resistivity –kiekoissa yhdistyy yli 10 000 Ohm-cm resistiivisyys, matala happipitoisuus ja erittäin tehokas parasiittista pintajohtavuutta vaimentava kerros.
Tämä edistyksellinen kiekkoratkaisu hyödyntää Okmeticin kehittämää Advanced Magnetic Czochralski (A-MCz®) kiteenkasvatusmenetelmää ja tarjoaa RF-sovelluksille korkeinta resistiivisyyttä ja parasta teknistä suorituskykyä lähes olemattomien kiekosta johtuvien häviöiden ja epälineaarisuuksien muodossa.
Engineered Ultra High Resistivity –kiekot tarjoavat korkeinta resistiivisyyttä ja parasta teknistä suorituskykyä lähes olemattomien kiekosta johtuvien häviöiden ja epälineaarisuuksien muodossa.
Optimoitu RF-suotimien vaativiin tarpeisiin
Engineered Ultra High Resistivity –kiekot on optimoitu RF-suotimien ja –sovellusten vaativiin tarpeisiin, ja ne pyrkivät helpottamaan RF-sovellussuunnittelua ja -mallinnusta. Engineered Ultra High Resistivity -kiekot tarjoavat korkeinta efektiivistä resistiivisyyttä sekä lähes olemattomia kiekosta johtuvia häviöitä ja epälineaarisuuksia. Kiekkojen harmonisen särön (H2) ja keskinäismodulaatiosärön (IMD3) arvot ovat erinomaiset. Engineered Ultra High Resistivity –kiekot mahdollistavat RF-suotimille erittäin alhaisen harmonisen särön tason ja jopa <-90 dBm vaimennuksen 900 MHz taajuudella mitattuna.
Engineered Ultra High Resistivity -kiekot mahdollistavat RF-suotimille jopa <-90 dBm harmonisen särön tason 900 MHz taajuudella mitattuna sekä jopa < -105 dBm keskinäismodulaatiosärön.
Toinen Engineered Ultra High Resistivity –kiekkojen hyöty on niiden optimoitu happipitoisuus, mikä parantaa kiekkojen kestävyyttä ja tekee niistä vahvemman vaihtoehdon ultra high resistivity FZ –kiekoille.
Maksimaalista suorituskykyä ja lähes olemattomia häviötä
- Erinomaisia tuloksia havaittu BAW-suotimien valmistuksessa.
- Engineered Ultra High Resistivity -kiekot (parasiittista pintajohtavuutta vaimentavalla kerroksella, alla olevassa kuvassa 10 kOhm-cm with TR) mahdollistavat RF-suotimille erittäin alhaisen harmonisen särön tason, jopa < -90 dBm mitattaessa 900 MHz taajuudella ja 15 dBm teholla. Tämä tarjoaa 50 dB vaimennuksen harmonisen särön tasossa verrattuna Ultra High Resistivity -kiekkoon ilman passivointia, sekä 6 dB lisävaimennuksen verrattuna Engineered High Resistivity -kiekkoihin (5 kOhm-cm with TR).
Harmonisen särön tasot käytettäessä eri RFSi®-kiekkoja
- Engineered Ultra High Resistivity –kiekot (EUHRS) mahdollistavat RF-suotimille erittäin alhainen keskinäismodulaatiosärön tason, jopa < -105 dBm mitattaessa 845 MHz taajuudella ja 20 dBm teholla. Mittaukset on suorittanut Incize koplaanasilla aaltojohdinrakenteilla.
Engineered Ultra High Resistivity -kiekoilla (EUHRS) saavutetaan erittäin alhaiset keskinäismodulaatiosärön tasot (IMD3)
- Parasiittista pintajohtavuutta vaimentava kerros voidaan räätälöidä vastaamaan tiettyä asiakkaan prosessia, jotta saavutetaan maksimaalinen hyöty lineaarisuuden ja kytkentähäviöiden osalta.
- Ei tarvetta monimutkaisille implanteille ja niiden vaikutukselle toimitusketjussa. Parasiittista pintajohtavuutta vaimentava kerros on puhtaasti piipohjainen eikä sisällä muita materiaaleja, joten se soveltuu hyvin olemassaoleville tuotantolinjoille.
Engineered Ultra High Resistivity -kiekkoratkaisut
Okmeticin Engineered Ultra High Resistivity –kiekot ovat optimoituja, A-MCz® -piikiekkoja, joilla on matala happipitoisuus, > 10 000 Ohm-cm resistiivisyys ja erittäin tehokas parasiittista pintajohtavuutta vaimentava kerros. Nämä erittäin korkeat resistiivisyydet ovat mahdollisia Okmeticin oman Advanced Magnetic Czochralski (A-MCz®) kiteenkasvatusmenetelmän ansiosta. Engineered Ultra High Resistivity –kiekkovalikoimaan kuuluu 200 mm SSP- ja DSP-kiekkoja boorilla seostettuna. Kiekkopaksuudet vaihtelevat 550 ja > 1150 µm välillä. Orientaation <100> kiekkoja on saatavilla volyymeissa. Orientaation <111> kiekot ovat valmiita näytetoimituksiin. Näihin kiekkoihin kuuluu UF-RFSi® (Ultra Flat High Resistivity –kiekot parasiittista pintajohtavuutta vaimentavalla kerroksella) ja RF GaN -kiekot GaN-on-Si -sovelluksiin (ilman parasiittista pintajohtavuutta vaimentavaa kerrosta).
Engineered Ultra High Resistivity -kiekkospesifikaatiot
| Kasvatusmenetelmä | A-MCz® |
| Halkaisija | 200mm |
| Kideorientaatio | <100> volyymitoimituksiin, <111> näytetoimituksiin |
| P-tyypin seosaineet | Boori |
| Resistiivisyys | > 10 000 Ohm-cm |
| Happi | Tyypillisesti ≤ 5 ppma tai ≤ 10 ppma (ASTM F121-83). Voidaan optimoida asiakkaan prosessiin sopivaksi. |
| SSP-kiekkopaksuus (SSP = syövytetty taustapinta) | 550 ja 1,150 µm* välillä *Muut paksuudet mahdollisia tietyin rajoituksin |
| DSP-kiekkopaksuus (DSP = kiillotettu taustapinta) | 550 ja 1,150 µm* välillä *Muut paksuudet mahdollisia tietyin rajoituksin |
| Parasiittista pintajohtavuutta vaimentava kerros | Piipohjainen, ei vieraita materiaaleja |
Engineered Ultra High Resistivity -kiekkovariaatiot erityistarpeisiin
Ultra High Resistivity –kiekko ilman parasiista pintajohtavuutta vaimentavaa kerrosta
Ultra High Resistivity -kiekko matalalla hapipipitoisuudella ja > 10 000 Ohm-cm resistiivisyydellä, mutta ilman parasiittista pintajohtavuutta vaimentavaa kerrosta. Tässä versiossa komponenttivalmistaja voi tehdä passivoinnin / implantoinnin itse.
Engineered Ultra High Resistivity –kiekko ultratasaisella pinnalla
Tässä kiekossa yhdistyvät erittäin korkea > 10 000 Ohm-cm resistiiivisyys UF-RFSi®-kiekon ultratasaiseen pintaan. Tällä kiekolla on erittäin alhainen pinnan paksuusvaihtelu (TTV alle 700nm). Tällä hetkellä tätä kiekkovariaatiota on saatavilla näytetoimituksiin.
Ultra High Resistivity RF GaN –kiekot GaN-on-Si-sovelluksiin
Tämä on erittäin korkean resistiivisyyden omaava versio RF GaN –kiekoista GaN-on-Si-sovelluksiin. Kiekossa yhdistyvät > 10,000 Ohm-cm resistiivisyys, optimoitu happitaso ja muut kiekkoparametrit, jotka vähentävät kiekon taipuisuutta ja rikkoutuvuutta. Tällä hetkellä tätä kiekkovariaatiosta on saatavilla näytetoimituksia erityisarvion jälkeen.
Ultra High Resistivity BSOI -kiekot
Tämä on erittäin korkean resistiivisyyden omaava versio BSOI-kiekoista. Kiekossa yhdistyvät > 10,000 Ohm-cm resistiivisyys ja optimoitu happitaso SOI-kiekkojen kerrokselliseen rakenteeseen. Tällä hetkellä tätä kiekkovariaatiota on saatavilla näytetoimituksiin.
